Tagħmir tal-piroliżi tal-isprej ultrasoniku u sistema tal-kisi TCO

Ossidu uniformi ta 'film irqiq tal-landa indju (ITO), ossidu taż-żingu doped tal-aluminju (AZO), ossidu taż-żingu (ZNO) u saffi ta' ossidu doped tal-fluworin huma ġeneralment prodotti bit-teknoloġija tal-piroliżi tal-isprej ultrasoniku. Dan il-proċess uniku jirrikjedi tagħmir tal-kisi speċjalizzat biex joħloq il-ħxuna u l-għamla meħtieġa tal-kisi, u biex isprejja soluzzjonijiet korrużivi f'ambjenti ta 'temperatura għolja.

Matul il-piroliżi tal-isprej ultrasoniku b'temperatura għolja, is-soluzzjoni prekursur (bħal ossidu taż-żingu tal-aluminju) hija mbexxa fuq is-sottostrat imsaħħan għal madwar {300-500 grad. Is-solvent jevapora waqt it-trasport, u film tal-kristall ZnO jikber fuq il-wiċċ tas-substrat, ġeneralment kalċju tas-sodju jew ħġieġ ieħor. It-temperatura tas-sottostrat ġeneralment tiddetermina l-karatteristiċi morfoloġiċi tal-film.

Depożizzjoni mxarrba bl-isprej ultrasoniku tipprovdi lill-manifatturi alternattiva kosteffikaċi għad-deposizzjoni tal-vakwu u sputtering, b'effiċjenza ta 'trasferiment ogħla. Id-daqs tal-qtar iġġenerat miż-żennuna tal-atomizzazzjoni ultrasoniku huwa uniformi ħafna, li jista 'jikseb id-daqs ottimali ta' qtar għar-reazzjoni tal-piroliżi, u l-qtar kollha jirreaġixxu fl-istess ħin bl-istess mod matul il-proċess ta 'deposizzjoni. Sew jekk hux riċerka u żvilupp jew produzzjoni tal-massa, dan iġib proċessi effiċjenti ta 'produzzjoni TCO.

L-użu ta 'żennuna ultrasonika funsoniku jegħleb l-isfida tal-proċess ta' bexx ta 'aċidi korrużivi ħafna. Iż-żennuna hija magħmula minn materjali strutturali reżistenti għall-korrużjoni u għandha l-proprjetajiet ta 'l-ebda imblukkar, ripetibilità u ħajja twila. Jista 'saħansitra jbexxex aċidu idrokloriku korrużiv ħafna jew soluzzjonijiet ta' aċidu idrofluworiku.

Vantaġġi ta 'Sistema ta' Piroliżi ta 'Sprej Ultrasoniku għal Kisi TCO:

1. Meta mqabbel mal-proċess ta 'CVD (deposizzjoni tal-fwar kimiku), il-piroliżi tal-isprej ultrasoniku hija sempliċi, flessibbli u kosteffikaċi.
2. Kompetenza ppruvata tal-kisi TCO.
Meta mqabbel ma 'metodi oħra ta' bexx, iż-żennuni ultrasoniċi jistgħu jiddepożitaw saffi aktar uniformi.
4. Parametri tal-kisi faċli biex jiġu aġġustati u ripetibbli.
5. Teknoloġija ta 'żennuna ultrasonika brevettata kompletament integrata u konsenja ta' likwidu, li tipprovdi soluzzjoni ta 'kisi kompluta.
Il-proċessi alternattivi ta 'sprej ta' temperatura baxxa (250 grad u taħt) huma kontinwament emerġenti, u saru aktar riċerka u żvilupp fuq kimiċi li m'għandhomx bżonn ta 'substrati fil-mira ta' temperatura għolja.