Teknoloġija tal-Kisi Ultrasoniku għall-Bexx tal-Fotoreżisti

Mar 21, 2025

Ultrasonic coating technology for photoresist spraying 1

L-isprejjar ultrasoniku huwa proċess sempliċi, ekonomiku u riproduċibbli għal kisjiet fotoreżisti u polyimide. Is-sistema tal-kisi ultrasoniku tista 'tuża tekniki ta' saffi sempliċi biex tikkontrolla b'mod fin ir-rata tal-fluss, il-veloċità tal-kisi, u l-ammont tad-depożizzjoni.

Teknoloġija tal-isprejjar ultrasoniku tintuża għal kisi fotoreżist tas-semikondutturi. Meta mqabbel ma 'kisi tradizzjonali tal-għażil u proċessi ta' kisi ta 'impregnazzjoni, għandu l-vantaġġi ta' uniformità għolja, inkapsulament ta 'mikrostruttura tajba, u żona ta' kisi kontrollabbli. Fl-aħħar għaxar snin, l-applikazzjoni ta 'kisi fotoresista tridimensjonali ġiet murija għal kollox. Il-proċess tal-preparazzjoni ta 'kisjiet fotoreżisti permezz ta' bexx ta 'atomizzazzjoni ultrasoniku huwa sinifikament superjuri għal kisi ta' għażil tradizzjonali f'termini ta 'imballaġġ ta' mikrostruttura u uniformità.

Is-sistema tal-isprejjar ultrasoniku tista 'tikkontrolla b'mod preċiż ir-rata tal-fluss, il-veloċità tal-kisi, u l-volum tal-issetiljar. L-iffurmar tal-isprej b'veloċità baxxa jiddefinixxi l-isprej bħala mudell preċiż u kontrollabbli biex jevita sprej eċċessiv meta jipproduċi saffi rqaq u uniformi ħafna. Din is-sistema ta 'bexx ultrasoniku tista' tikkontrolla l-ħxuna minn subcron għal aktar minn 100 mikron u tista 'tkopri kwalunkwe forma jew daqs.

Ultrasonic coating technology for photoresist spraying 3