Sistema ta 'bexx ultrasoniku tal-polyimide u fotoreżista

Sistemi ta 'bexx ultrasoniku ġew ippruvati li huma adattati għal applikazzjonijiet varji li jeħtieġu kisi uniformi u ripetibbli fotoreżisti jew polimide. Billi tikkontrolla l-ħxuna minn submicron għal aktar minn 100 mikron u tkun tista 'tiksi kwalunkwe forma jew daqs, is-sistemi tal-kisi huma alternattiva vijabbli għal tekniki oħra ta' kisi bħal rotary u bexx tradizzjonali.

Applikazzjonijiet komuni ta 'kisi tal-polyimide u fotoreżisti jinkludu iżda mhumiex limitati għal MEMS, lentijiet, apparati mikrofluwidiċi, mikroelettronika, u filtri. Is-sistemi tal-kisi huma kapaċi jiksru substrati ċatti u 3D, tipikament inklużi ċipep tas-silikon, ħġieġ, ċeramika, u metalli.

L-isprejjar ultrasoniku huwa proċess sempliċi, ekonomiku u riproduċibbli għal kisi fotoreżist u polyimide. Is-sistema tal-kisi ultrasoniku tista 'tikkontrolla b'mod preċiż ir-rata tal-fluss, il-veloċità tal-kisi, u l-ammont tad-depożizzjoni bl-użu ta' tekniki ta 'saffi sempliċi. L-iffurmar tal-isprej b'veloċità baxxa jiddefinixxi l-isprej atomizzat bħala mudell preċiż u kontrollabbli biex jevita żejjed u jipproduċi saffi rqaq u uniformi ħafna.

Vantaġġi ta 'polimide ultrasoniku u kisjiet fotoreżisti:

1. Kopertura uniformi tal-film ta 'diversi kontorni tal-wiċċ.
2. Flessibilità għolja fil-proprjetajiet kimiċi u tal-kisi.
3. Sprej atomizzanti mhux imblukkar.
4. Effiċjenza għolja ta 'trasmissjoni bi skart minimu.
5. Proċess ta 'bexx matur riproduċibbli ħafna.

Is-sistema ta 'bexx ultrasoniku tuża vibrazzjoni tal-ħoss ta' frekwenza għolja biex tiġġenera ċpar artab magħmul minn qtar definiti matematikament. L-imblukkar huwa eliminat minħabba li ma tintuża l-ebda pressjoni biex tiġġenera sprej, u l-qtar għandhom daqs ta 'distribuzzjoni ta' qtar dejjaq ħafna, li jikkontribwixxi aktar għall-uniformità tas-saff tad-deposizzjoni.